等离子体（Plasma）在近代物理学中是一个很普通的概念，是一种在一定程度上被电离（电离度大于0.1%）的气体，其中电子和阳离子的浓度处于平衡状态，宏观上呈电中性的物质。
等离子体发射光谱仪用于测定各种物质（可溶解于盐酸、硝酸、氢氟酸等）中的常量、微量、痕量元素的含量。仪器具有高效、抗干扰型强、自动化程度高、操作简便、稳定可靠、测试范围广、分析速度快、检出限低等特点。广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。
等离子体发射光谱仪在使用过程中可能会出现一些问题，下面就几种常见的故障做简单说明：
1、等离子体温度受到影响，可从这几个方面排查。
载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加；
载气流量：流量增大，中心部位温度下降；
第三元素的影响：引入低电离电位的释放剂的等离子体，电子温度将增加；
频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其他条件相同时，增加频率，放电温度降低。
2、等离子体发射光谱仪有时候会出现真空泵不自动启动故障。这个时候需要先看泵油温度是否较低，重新断电后，手动启动真空泵，有时需停顿一下，再试。有时候也会出现真空值下降快的情况，我们需要真空值曲线是否平缓，否则，有漏气的地方，检查真空室真空盖密封性，更换密封圈或对角紧固螺丝。
3、光谱仪出现排气不畅故障，氩气排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，氩气过滤器入口端有异物。一般这种情况需要更换排气管，并定期对排气管路进行吹扫。
4、一般情况下光谱仪光强值下降。原因一般多为透镜脏，或者入射狭缝污染和光纤老化，这个时候需要我们擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤。
5、光谱仪 P、S 稳定性不好。检查真空泵是否被误关掉，真空光路镜片是否需要清洗，一个维护不好的光路会导致错误的重现性和分析结果。需要检查真空泵及清洗镜片。
