蔡司扫描电子显微镜简称扫描电镜，已成为功能强、用途广的材料表征工具，已广泛应用于材料，冶金，矿物，生物学等领域。 在SEM中，电子束以栅网模式扫描样品。首先，电子枪在镜筒顶部生成电子。当电子的热能超过了源材料的功函数时，就会被释放出来，然后它们加速向带有正电荷的阳*速移动。整个电子镜筒必须处于真空状态。
蔡司扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子，此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
蔡司扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外，还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前，要对样品作相应的处理。
蔡司扫描电子显微镜对样品的要求：
首先第一点，不会被电子束分解；
其次第二点，在电子束扫描下热稳定性要好；
第三点，可以提供导电还有导热通道；
第四点，大小和厚度要适合使用于样品台的安装；
第五点，观察面应该清洁并且无污染物；
第六点，进行微区成分分析的表面应该平整；
最后第七点，磁性试样要预先去磁，是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。
