德国斯派克光谱仪出现排气不畅故障，氩气排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，氩气过滤器入口端有异物。一般这种情况需要更换排气管，并定期对排气管路进行吹扫。
德国斯派克光谱仪有时候会出现真空泵不自动启动故障。这个时候需要先看泵油温度是否较低，重新断电后，手动启动真空泵，有时需停顿一下，再试。有时候也会出现真空值下降快的情况，我们需要真空值曲线是否平缓，否则，有漏气的地方，检查真空室真空盖密封性，更换密封圈或对角紧固螺丝。
一般情况下德国斯派克光谱仪光强值下降，原因一般多为透镜脏，或者入射狭缝污染和光纤老化，这个时候需要我们擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤。
德国斯派克光谱仪P、S稳定性不好，检查真空泵是否被误关掉，真空光路镜片是否需要清洗，一个维护不好的光路会导致错误的重现性和分析结果。需要我们检查真空泵及清洗镜片。
分析样品时，对每一个数据都要判定是否有效，有效数据保留，无效数据删除。常用的判定的方法，是看元素数据的变化是否小于3%。这种判定方法是不太准确的。因为元素的高、低不同含量，分析误差是有很大差别的。而且这种判定方法操作时不直观、不方便。
有效数据的判定的依据应该是rsd值，每次测量计算机会自动计算出来，直观且方便。rsd值表示的是相对标准差，也就是仪器的测量精度，rsd越小表示多次测定的结果之间越接近，平均值就越接近实际值。(rsd值表示的是百分数值，0.5表示0.5﹪)。
影响rsd值有三个因素：
1)仪器精度：高质量光谱仪的测量重现性好，数据的离散性小，精度就高。质量一般的光谱仪重现性差，数据离散性大，精度就差。例如：对于2%含量的元素，高精度的仪器，测量数据可以在±0.01，rsd值可以做到0.45。质量一般的光谱仪，测量数据可能在±0.02，rsd值只有0.89。
2)分析元素基本含量：因为rsd值的计算是标准差sd值与平均值的比值乘100得到的，同样的偏差值，含量高的元素rsd值就小，反之含量低的元素rsd值就大。例如：同样是0.02的偏差值，对于大于1﹪的元素rsd值可以﹤1﹪;含量小于1﹪的元素rsd值2～6;含量小于0.1﹪的元素rsd值就高达20多。
3)样品的状态：成分的均匀情况、样品缺陷和杂质的影响、样品制备好坏等因素，都会测使试数据的rsd值增大。
